MC–氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)氣流控制，可抑制壓力波動
出色的MFC只需要做好一件事：將流速保持在設(shè)定點即可。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器即使在壓力峰值的情況下也能迅速達到新的設(shè)定值并保持在該位置。我們將使用您的應(yīng)用程序參數(shù)來自定義閥門和PID調(diào)整，以確保其提供快速穩(wěn)定的控制。
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多才多藝。在監(jiān)控流量的同時控制壓力，動態(tài)選擇其他氣體校準(zhǔn)或使用COMPOSER™定義自己的氣體成分。
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連接的。 通過以太網(wǎng)/ IP，EtherCAT，DeviceNet，Profibus，Modbus（RTU和TCP / IP）或串行通訊選件輕松集成到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
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耐用。 MC系列流量控制器可以使液體暫時流動而不會被破壞。為了提高環(huán)境穩(wěn)定性，我們可以為您的MFC提供IP66防護等級。
性能
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可用范圍：*大0-5000 slpm，**0-0.5 sccm / 0-500sμlm（庫存范圍請參見“零件編號”標(biāo)簽）
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穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的0.01％– **。
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標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，可溯源NIST：+/-（大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.6％）
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可選的高精度校準(zhǔn)，可追溯到NIST：+/-（大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.5％）
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重復(fù)性：讀數(shù)的+/- 0.1％+滿量程的0.02％
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典型的控制響應(yīng)時間常數(shù)：50-100毫秒（PID調(diào)整低至25毫秒）
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無需預(yù)熱時間
運行條件
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兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預(yù)裝的可選氣體校準(zhǔn)；可使用COMPOSER定義的其他混合物
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工作溫度：-10°C至+ 60°C
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*大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
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耐壓力：175 psig（190 psia）
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STP / NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C＆1 atm STP / 0°C＆1 atm NTP）
